設備・パーツ関連の用語 LSIとは？半導体の基本から応用例まで徹底解説
LSI(ラージスケールインテグレーション)は、多数のトランジスタやダイオードなどの半導体デバイスを、単一のシリコン基板に統合した電子回路です。これは、複数の個別デバイスを別々に製造し、その後それらをアセンブリするという従来の製造方法に代わるものです。LSIの基本構造は、シリコン基板上に、トランジスタ、ダイオード、コンデンサ、抵抗などの電子部品が形成されます。これらの部品は、金属の薄膜で互いに配線され、機能的な電子回路を構成します。LSIの製造は、フォトリソグラフィーと呼ばれるプロセスで行われます。このプロセスでは、シリコン基板上に感光性樹脂を塗布し、紫外線で露光します。露光された樹脂は、開発処理によって除去され、シリコン基板上に電子回路のパターンが形成されます。その後、このパターンに金属を蒸着させて、配線を行います。LSIは、コンピュータ、携帯電話、デジタルカメラなど、様々な電子機器に使用されています。低コストで大量生産が可能であるため、幅広い用途で使用されており、今後もその重要性はますます高まると予想されます。
